[发明专利]显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液

摘要

本发明提供一种显影液的浓度调节方法和调制装置，其用于调节在光致抗蚀剂显影工序中使用的碱性显影液的碱浓度，从而能够进行高品质的显影处理。在显影液的浓度调节方法中，测定显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度，按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度的预先制定的关系，调节碱浓度。另外，显影液的调制装置包括：调制槽；向显影工序供给显影液的供给管线；回收已用过显影液的回收管线；将新显影液原液供给至调制槽的原液供给管线；检测显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度的浓度计；和按照特定的关系控制显影液原液的供给的控制装置。

主权项

1.一种显影液的浓度调节方法，用于调节从光致抗蚀剂显影工序中回收的碱性的已用过显影液的碱浓度，其特征在于：显影液的碱成分是氢氧化四甲铵，测定显影液的碱浓度、显影液中的碳酸盐浓度和溶解树脂浓度，按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度和溶解树脂浓度的、将CD值的变动量设为因变量并将碱浓度和碳酸盐浓度和溶解树脂浓度设为各自变量进行多变量解析而预先制定的用以下的近似式来表示的关系，以随着碳酸盐浓度的上升、提高碱浓度的方式进行调节，y＝(2.33×10‑6x2+6.36×10‑4x+0.36c)/8.79+2.38式中，x为碳酸盐浓度，其单位为ppm，c为溶解树脂浓度，其单位为abs，y为TMAH浓度，其单位为wt％，所述abs是利用作为表示物质对特定波长光的吸收强度的尺度的吸光度来表示液体中物质浓度的无量纲单位。