[发明专利]局部蚀刻制作立体件的方法及定位治具有效
| 申请号： | 201410050563.1 | 申请日： | 2014-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104846372B | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 王稳军;徐新涛;周学军 | 申请（专利权）人： | 昆山均瑞电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/08 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种局部蚀刻制作立体件的方法及定位治具，首先，根据待蚀刻立体件的形状制成一定位治具；然后，通过电泳工艺在待蚀刻立体件需要蚀刻的表面上镀一层感光油墨；通过镭雕工艺在待蚀刻立体件表面上需要蚀刻的部分的感光油墨去掉，将需要蚀刻的部分裸露出来；接着将待蚀刻立体件定位在定位治具上，并将该定位治具放入蚀刻机用预先设定好的腐蚀溶液进行设定深度的腐蚀；最后，对蚀刻后的立体件进行退膜、清洗和烘干，即形成成品立体件。本发明用于局部蚀刻制作立体件的定位治具，可根据待蚀刻立体件的形状（大小）通过形成容置凹槽实现对待蚀刻立体件的定位。本发明可以节约成本，且可以使立体件的精度更高，规格尺寸更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 局部 蚀刻 制作 立体 方法 定位 | ||
【主权项】：
一种局部蚀刻制作立体件的方法，其特征在于：包括如下步骤：a、根据待蚀刻立体件的形状制成一定位治具；b、通过电泳工艺在待蚀刻立体件需要蚀刻的表面(7)上镀一层感光油墨；c、通过镭雕工艺在步骤b中覆盖在表面上需要蚀刻的部分(6)外的感光油墨去掉，将需要蚀刻的部分裸露出来；d、将步骤c形成的待蚀刻立体件定位在所述定位治具上，并将该定位治具放入蚀刻机用预先设定好的腐蚀溶液进行设定深度的腐蚀；e、对步骤d中蚀刻后的立体件进行退膜、清洗和烘干。
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