[发明专利]具有内切子圆环的同心圆环三角分布阵列电磁屏蔽光窗

摘要

具有内切子圆环的同心圆环三角分布阵列电磁屏蔽光窗属于电磁屏蔽技术领域，一组同心金属圆环对按等边三角形排列密接排布构成金属网栅并加载于光学窗透明基片表面，各同心圆环对的外圆环直径相等，且相邻外圆环外切连通；每个同心圆环对内具有与该同心圆环对的外圆环内切连通的子圆环，同心圆环对与其内切子圆环共同组成二维金属网栅的基本单元；各圆环的直径在毫米和亚毫米量级，线条宽度在微米和亚微米量级；在圆环相切连通的连接处，通过线条交叠或设置保证金属环切点间可靠电联接的金属，确保所有圆环相互连通导电。本发明的金属网栅结构可显著的降低网栅高级次衍射光强分布的不均匀性，使衍射造成的杂散光分布更加均匀，对成像影响更小。

主权项

具有内切子圆环的同心圆环三角分布阵列电磁屏蔽光窗，其特征在于：电磁屏蔽光窗中的金属网栅(5)由一组同心金属圆环对按等边三角形排列密接排布构成并加载于光窗透明基片表面，各同心圆环对的外圆环(6)直径相等，且相邻同心圆环对的外圆环(6)外切连通；每个同心圆环对内具有与该同心圆环对的外圆环(6)内切连通、金属的子圆环(7)，所述的同心圆环对与其内切连通的子圆环(7)共同组成二维金属网栅结构的基本单元；所述的同心金属圆环与其内切连通的子圆环(7)的直径为毫米和亚毫米量级，所述的同心金属圆环与其内切连通的子圆环(7)的金属线条宽度为微米和亚微米量级；所述的外切连通包括：①两圆环外切且外切切点处设置将两圆环连通的连接金属(8)，②两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构，③两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构的同时，在交叠处设置将两圆环连通的连接金属(8)；所述的内切连通包括：①两圆环内切且内切切点处设置将两圆环连通的连接金属(8)，②两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构，③两圆环在连接处线条呈无缝交叠结构的同时，在交叠处设置将两圆环连通的连接金属(8)。