[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明涉及基板处理装置及基板处理方法。在该基板处理装置（1)中，利用环状的基板支撑部（141)从下侧支撑水平状态的基板（9)的外缘部，具有与基板（9)的下表面（92)对置的对置面（211a)的下表面对置部（211)设在基板支撑部（141)的内侧。向基板（9)的下表面（92)喷出已加热的气体的喷气喷嘴（180)设在下表面对置部(211)，在用上部喷嘴（181)吐出的处理液对旋转的基板（9)的上表面（91)进行处理时，利用已加热的气体加热基板（9)。此外，通过将下部喷嘴（182)设在下表面对置部（211)，能够用处理液对基板（9)的下表面（92)进行处理。喷气喷嘴（180)从对置面（211a)突出，由此在进行该处理时，抑制该处理液流入喷气喷嘴（180)。

主权项

一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，具备：环状支撑部，具有以上下方向的中心轴为中心的环状的形状，用于从下侧支撑水平状态的基板的外缘部；下表面对置部，具有在上述环状支撑部的内侧与上述基板的下表面对置的对置面；旋转机构，使上述环状支撑部与上述基板一同以上述中心轴为中心相对于上述下表面对置部进行旋转；第一处理液供给部，向上述基板的上表面供给第一处理液；第二处理液供给部，从设在上述下表面对置部的处理液喷嘴向上述基板的上述下表面供给第二处理液；以及至少一个喷气喷嘴，从上述对置面突出，用于向上述基板的上述下表面喷出已加热的气体，在上述第一处理液供给部向上述基板的上述上表面供给上述第一处理液时，上述至少一个喷气喷嘴向上述基板的上述下表面喷出已加热的气体，上述至少一个喷气喷嘴包含向上述基板的上述外缘部喷出已加热的气体的喷气喷嘴。