[发明专利]集成微波源和等离子体焰炬、以及相关方法有效
| 申请号： | 201410052708.1 | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN104064428B | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | G.帕特里吉 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11484 | 代理人： | 陈静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于生成微波感应等离子体的等离子体源包括与微波能量源集成的等离子体焰炬。焰炬建立从等离子体源的一侧到另一侧的气体流动。焰炬可以与微波能量源集成使得流动通过焰炬的等离子体形成气体受到微波辐射，所述微波辐射用于启动和/或维持焰炬中的等离子体。等离子体可以从焰炬喷射并且在涉及等离子体的使用的各种应用中使用，所述应用包括分析技术，例如光发射光谱法和质谱法。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 微波 等离子体 以及 相关 方法 | ||
【主权项】：
一种用于生成微波感应等离子体的等离子体源，其包括：微波能量源，所述微波能量源包括在阴极轴线上的阴极、和通过相互作用空间与所述阴极间隔的阳极，其中所述微波能量源包括第一侧、第二侧和沿着所述阴极轴线从所述第一侧到所述第二侧的厚度；以及等离子体焰炬，所述等离子体焰炬定位在所述微波能量源处并且包括在所述第二侧的焰炬出口，其中所述等离子体焰炬建立从所述第一侧到所述第二侧的气体流动路径。
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