[发明专利]图案检查装置及图案检查方法

摘要

本发明涉及图案检查装置及图案检查方法。在该图案检查装置上设有第一光源部（331），将光照射至透明基材（9）的形成有图案的一侧主表面（91）上；第二光源部（332），将光照射至另一侧主表面（92）上；一个第一受光部（341），接受第一光源部（331）的光中被图案反射的反射光和第二光源部（332）的光中透过了透明基材（9）的透过光。而且，一边使透明基材（9）连续移动，一边交替点亮第一光源部（331）和第二光源部（332），从而用一个第一受光部（341）获取基于图案的反射光而形成的反射图像和基于透明基材（9）的透过光而形成的透过图像。由此，能够减少图案检查装置的部件数目。

主权项

一种图案检查装置，用于检查透明基材上形成的图案，其特征在于，包括：第一光源部，将光照射至板状或薄膜状的透明基材的形成有图案的一侧主表面上；第二光源部，将光照射至所述透明基材的另一侧主表面上；一个第一受光部，接受所述第一光源部的光中被所述图案的上表面反射的反射光和所述第二光源部的光中透过了所述透明基材的透过光；移动机构，使所述透明基材在沿所述一侧主表面延伸的移动方向上相对于所述第一光源部、所述第二光源部及所述第一受光部移动；控制部，利用所述移动机构一边使所述透明基材连续或断续地进行相对移动，一边交替点亮所述第一光源部和所述第二光源部，从而用所述第一受光部获取基于由所述图案的所述上表面反射的所述反射光而形成的第一反射图像和基于所述透过光而形成的透过图像；检查部，通过比较所述第一反射图像和所述透过图像，获取所述第一反射图像示出的所述图案的所述上表面的边缘位置与所述透过图像示出的所述图案下表面的边缘位置之间的差，由此，作为检查结果获取所述图案的下端的变粗量。