[发明专利]与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410053656.X | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN103789726A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 赵海波;鲜广;梁红樱;梁雅庭;杜昊;王辉 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 罗贵飞;梁鑫 |
| 地址： | 610065 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层及制备方法，属于表面工程技术领域。该多层涂层在工具表面上由内而外一共有四层，依次是Ti结合层（2）、TiN梯度结构层（3）、AlTiCrN支撑层（4）和AlTiCrN/MoN功能层（5）；是通过工具基体（1）前处理和加热；等离子清洗；蒸镀Ti结合层（2）；蒸镀TiN梯度结构层（3）；溅射沉积AlTiCrN支撑层（4）和AlTiCrN/MoN功能层（5）得到的。本发明的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层与工具表面结合良好，同时具有良好的耐磨性，方法可控性好，易于实施，具有很好的工业应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 工具 表面 结合 牢固 alticrn mon 纳米 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层，其特征在于：在工具表面上由内而外一共有四层，依次是Ti结合层（2）、TiN梯度结构层（3）、AlTiCrN支撑层（4）和AlTiCrN/MoN功能层（5）。
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