[发明专利]正型感光性树脂组合物及其图案形成方法在审
| 申请号： | 201410055536.3 | 申请日： | 2014-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN104007617A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 刘骐铭;施俊安 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关一种正型感光性树脂组合物及其形成图案的方法。此正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、羟基化合物(C)以及溶剂(D)。上述的酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1)与二甲酚型酚醛清漆树脂(A-2)，其中羟基型酚醛清漆树脂(A-1)是由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得，而二甲酚型酚醛清漆树脂(A-2)是由醛类化合物与二甲酚类化合物聚缩合而得。此正型感光性树脂组合物于后烤后可形成高膜厚且断面形状佳的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种正型感光性树脂组合物，包含：酚醛清漆树脂(A)，其中所述酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A‑1)与二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑2)，所述羟基型酚醛清漆树脂(A‑1)是由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得，所述二甲酚型酚醛清漆树脂(A‑2)是由醛类化合物与二甲酚类化合物聚缩合而得；邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；羟基化合物(C)；以及溶剂(D)。
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