[发明专利]一种湿制程设备清洗方法及装置有效
| 申请号： | 201410056431.X | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN104841662B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈德和 | 申请（专利权）人： | 宇宙电路板设备（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明适用于湿制程设备技术领域，提供了一种湿制程设备清洗方法及装置，所述方法包括启动湿制程设备的清洗程序；调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加进清洗液中的液体；根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。在本发明中，通过加液量替代高度，简化了计算，降低了对操作员工要求，可以快速使得清洗液浓度调整到目标值，快速进行清洗，用户也可手动输入需要添加的加液量，从而提高了用户操作效率和清洗的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿制程 设备 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种湿制程设备清洗方法，其特征在于，包括：启动湿制程设备的清洗程序；调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加进清洗液中的液体；根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备；其中，当调整所述清洗液的浓度时，获取所述清洗液的高度，根据预先建立的清洗液的高度与转换系数的对应关系，查找与获取到的清洗液的高度对应的转换系数，根据所述高度、所述转换系数以及所述湿制程设备的底面积的乘积，生成与所述清洗液的浓度对应的加液量。
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