[发明专利]一种差分电容式氢气传感器有效
| 申请号： | 201410056439.6 | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103792268A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 沈方平;张珽;祁明锋;刘瑞;丁海燕 | 申请（专利权）人： | 苏州能斯达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差分电容式氢气传感器包括衬底、固定梳齿电极、活动梳齿电极、第一折叠式弹簧、第二折叠式弹簧和氢气敏感应变层；第一折叠式弹簧的一端与活动梳齿电极的上端连接，另一端固定在衬底上；第二折叠式弹簧的一端与活动梳齿电极的下端连接，另一端固定在衬底上；三者组成悬臂梁结构，悬置在衬底的上方；固定梳齿电极和活动梳齿电极相互交错形成差分式电容；氢气敏感应变层设置在第一或第二折叠式弹簧内，使氢气敏感应变层在吸收氢气膨胀后，能够带动悬臂梁结构移动，改变活动梳齿电极和固定梳齿电极的间距。本发明实施例技术方案克服传统氢气传感器的工作温度高，使用寿命短等不足。 | ||
| 搜索关键词： | 种差 电容 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
一种差分电容式氢气传感器，其特征在于，包括衬底、固定梳齿电极、活动梳齿电极、第一折叠式弹簧、第二折叠式弹簧和氢气敏感应变层；所述第一折叠式弹簧在伸缩方向上的一端与所述活动梳齿电极的上端连接，在伸缩方向上的另一端固定在所述衬底上；所述第二折叠式弹簧在伸缩方向上的一端与所述活动梳齿电极的下端连接，在伸缩方向上的另一端固定在所述衬底上；所述第一折叠式弹簧、所述第二折叠式弹簧和所述活动梳齿电极组成悬臂梁结构，悬置在所述衬底的上方；所述固定梳齿电极固定在所述衬底上，且所述固定梳齿电极和活动梳齿电极相互交错形成差分式电容；所述氢气敏感应变层设置在所述第一折叠式弹簧或所述第二折叠式弹簧内，使所述氢气应变层在吸收氢气膨胀后，能够带动所述第一折叠式弹簧、所述第二折叠式弹簧和所述活动梳齿电极移动，改变所述活动梳齿电极和所述固定梳齿电极的间距；所述氢气敏感应变层包括：钯或钯合金感氢层；所述第一折叠式弹簧、第二折叠式弹簧和固定梳齿电极上设置有用于测量所述差分式电容的电容值的金属电极。
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