[发明专利]兆瓦级离子源探针闭环控制方法在审
| 申请号： | 201410057310.7 | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103857166A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;胡纯栋;谢亚红;蒋才超;刘智民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于兆瓦级离子源探针闭环控制方法，在离子源等离子体放电过程中以现有电源取样电流或电压作为变量来控制弧电源的基础上，在离子源等离子体放电的弧室内插入六路探针，所述的六路探针取样的六路信号经线性光隔离均压综合处理后得到反应等离子体离子密度的信号送至误差放大器，通过反馈方式转换选择地引入相应的设置值进行比较运算，运算结果输送到弧电源控制器实现弧电源的控制调节，以实现离子源等离子体的闭环控制。本发明主要研究通过探针诊断等离子体的离子密度信息，来闭环控制离子源等离子体，相比常规的电压电流取样反馈，兆瓦级离子源探针闭环控制方法实现了高的反馈调节精度和长脉冲准稳态运行。 | ||
| 搜索关键词： | 兆瓦 离子源 探针 闭环控制 方法 | ||
【主权项】：
兆瓦级离子源探针闭环控制方法，其特征在于：在离子源等离子体放电过程中以现有电源取样电流或电压作为变量来控制弧电源的基础上，在离子源等离子体放电的弧室内插入六路探针，所述的六路探针取样的六路信号经线性光隔离均压综合处理后得到反应等离子体离子密度的信号，经反馈变量切换接通电路将该信号送至误差放大器，通过反馈方式转换选择地引入相应的设置值与该信号进行比较运算，运算结果输送到弧电源控制器实现弧电源的控制调节，以实现闭环控制弧室离子源等离子体。
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