[发明专利]一种同时测算束流质谱与能谱的方法

摘要

本发明公开了一种同时测算束流质谱与能谱的方法，在束流传输装置上设计两个观察窗口，一个观察窗口的观测视线与束流传输方向垂直；另一个观察窗口的观测视线与束流传输方向成某一倾斜角度；分别将两套收光与光传输系统安装到两个观察窗口上，并安装收光与光传输系统与光谱学分光与记录设备的连接接口；光谱学分光与记录设备进行波长绝对标定；分析光谱信号中特征谱线的频移信号的频移量，根据该特征谱线的频移信号的展宽可分析对应能量成份的能谱分布情况；利用各能量成份频移信号的大小，结合所对应该能量成份粒子特征谱线发射截面的大小，测算出束流质谱。本发明提供了一次获得束流质谱与能谱信息的方法，不会对束流带来任何损失。

主权项

一种同时测算束流质谱与能谱的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在束流传输装置上设计两个观察窗口，一个观察窗口的观测视线与束流传输方向垂直；另一个观察窗口的观测视线与束流传输方向成某一倾斜角度，倾斜角度以45°或者135度最佳；（2）分别将两套收光与光传输系统安装到步骤（1）中设置的两个观察窗口上，并安装收光与光传输系统与光谱学分光与记录设备的连接接口；光谱学分光与记录设备进行波长绝对标定；（3）首先将垂直观察窗口处的收光与光传输系统连接到光谱学分光与记录设备，在束流运行过程中进行全谱扫描；由于本次观测角度为90度，因此其记录的光谱信号为束流粒子特征谱线；（4）将步骤（3）中所获得的束流粒子特征谱线波长与原子光谱特征谱线进行比对，进而确认束流中粒子的种类；（5）将具有一定倾斜观测角度的观察窗口处的收光与光传输系统连接到光谱学分光与记录设备，在束流运行过程中进行全谱扫描；由于本次观测视线与束流方向具有一定的倾斜角度，因此其记录的光谱信号为束流粒子特征谱线与特征谱线的频移信号；（6）根据步骤（3）中所确认的束流粒子特征谱线信号，分析步骤（5）所得光谱信号中特征谱线的频移信号的频移量，根据频移量的多少和系统观测角度可以确认束流中所包含的束流粒子的能量成份，根据该特征谱线的频移信号的展宽可分析对应能量成份的能谱分布情况，利用各能量成份频移信号的大小，结合所对应该能量成份粒子特征谱线发射截面的大小，可测算出束流质谱。