[发明专利]微纳光谱成像装置

摘要

本发明公开了一种微纳光谱成像装置，包括入射光路和用于接收样品的反射光并进行成像的反射光路。入射光路为装置提供入射光，包括沿水平方向依次设置的光源装置、准直物镜、第一光阑、线性偏振片、可移除凸透镜、分光片和垂直光路；反射光路是由样品反射光形成的光路，用于获得样品图像，并可测量样品角分辨反射傅里叶信息。本发明通过获取样品实像和样品反射光谱傅里叶信息，对样品进行表征，能够用于电致发光和光致发光晶体的测量。

主权项

一种微纳光谱成像装置，其特征在于，该装置包括入射光路和用于接收样品的反射光并进行成像的反射光路；所述入射光路包括沿水平方向依次设置的光源装置（1）、准直物镜（2）、第一光阑（3）、线性偏振片（4）、可移除凸透镜（5）、分光片（6）和垂直光路（7），所述垂直光路（7）包括沿垂直方向从上至下依次设置的第一反光镜（17）、物镜（18）和样品台（19），所述分光片（6）的反射面面向第一反光镜（17）并与光路反射方向45°设置，第一反光镜（17）的反射面面向物镜（18）并与光路入射方向45°设置，物镜（18）的出射方向对准放置和调整样品的样品台（19），第一反光镜（17）和物镜（18）同时是反射光路的组成部分；所述反射光路包括物镜（18）、第一反光镜（17）、分光片（6）、沿所述分光片（6）的反射方向依次设置的第一凸透镜（8）、第二光阑（9）、第二反光镜（10）、第二凸透镜（11）、可移除反光镜（12）和光谱仪（14），以及沿所述可移除反光镜（12）的反射方向依次设置的第三凸透镜（15）和CCD成像装置（16），所述第二反光镜（10）与光路入射方向45°设置，所述可移除反光镜（12）的反射面与光路入射方向45°设置，所述物镜（17）的后焦面与第一凸透镜（8）的光程等于第一凸透镜（8）的焦距f8，第一凸透镜（8）的焦点落在第二光阑（9）上，第二光阑（9）和第二凸透镜（11）的光程等于第二凸透镜（11）的焦距f11，所述光谱仪（14）的光纤探测头在电机（13）的控制下能够垂直于入射光线轴线运动，实现接收不同角度样品的傅里叶信息。