[发明专利]一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法有效
| 申请号： | 201410059667.9 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103820763A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王周成;吴正涛;祁正兵;张东方 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34;C23C14/14;C23C14/06;B32B9/04;B32B15/04 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法，涉及一种复合材料表面处理。在金刚石/铜复合基体表面磁控溅射沉积金属Mo过渡层；在金属Mo过渡层上反应溅射沉积AlN薄膜；在AlN薄膜上沉积BN抗氧化保护层。在经过离子源轰击清洗的金刚石/铜复合基体表面，先沉积金属Mo过渡层，以缓解基体与涂层热膨胀系数失陪问题，并增强膜-基结合强度；然后采用反应磁控溅射方法沉积AlN薄膜；最后沉积一层具有高热导率的BN抗氧化保护层，提高涂层的抗氧化性能。可在金刚石/铜复合基体表面制备具有高绝缘性、低相对介电系数、低介电损耗、高导热率，且结合良好、性能稳定的Mo/AlN/BN涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 复合 基体 表面 制备 mo aln bn 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法，其特征在于包括以下步骤：1）在金刚石/铜复合基体表面磁控溅射沉积金属Mo过渡层；2）在金属Mo过渡层上反应溅射沉积AlN薄膜；3）在AlN薄膜上沉积BN抗氧化保护层。
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