[发明专利]一种平面透射电镜样品的制备方法无效
| 申请号： | 201410059923.4 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103900868A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 陈强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平面透射电镜样品的制备方法，包括：制备SELA加工所需的第一样品，所述第一样品上设有目标区域；使用SELA对所述第一样品进行裂片，形成包括所述目标区域的第二样品；将所述第二样品切割和减薄形成TEM样品。本发明的技术方案成本较低，简便易行，大大提高了制备平面TEM样品的速度和准确性，对失效分析工作有极大的帮助。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种平面透射电镜样品的制备方法，其特征在于，所述方法包括：步骤1，制备SELA加工所需的第一样品，所述第一样品上设有目标区域；步骤2，使用SELA对所述第一样品进行裂片，形成包括所述目标区域的第二样品；步骤3，将所述第二样品切割和减薄形成TEM样品。
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