[发明专利]一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法有效
| 申请号： | 201410059971.3 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103869231B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 周波;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其中，步骤一：自动派工系统进行WAT测试的派工时通过Recipe查询本次测试所需的探针卡类型；步骤二：自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型；如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则不用换卡，如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需要换卡；步骤三：机台自动更换系统将机台内的探针卡换出，同时，机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台；步骤四：所需类型的探针卡换入后Lot测试开始。使用本发明通过探针卡Stoker、探针卡搬运系统和自动更换系统来实现探针卡的自动更换，平衡探针卡的使用频率，有效地避免手动换卡时出现放错卡的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可接受性 测试 探针 自动 更换 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆可接受性测试的探针卡自动更换方法，其特征在于，步骤一：自动派工系统进行晶圆可接受性测试的派工时通过制程方法查询本次测试所需的探针卡类型；步骤二：自动派工系统查询需要派工的机台上的探针卡类型；如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型一致则不用换卡，如果机台上的探针卡类型与所需探针卡类型不一致则需要换卡；步骤三：机台自动更换系统将机台内的探针卡换出，同时，机台自动更换系统选择所需类型的探针卡并将此探针卡换入机台；步骤四：所需类型的探针卡换入后晶圆批次测试开始；包括探针卡搬运系统，步骤三中，探针卡搬运系统将机台内换出的探针卡搬运到探针卡排。
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