[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

摘要

本发明提供一种图案形成装置及图案形成方法、以及对准装置及对准方法。该图案形成装置中，使承载图案的承载体(BL)与被转印图案的被转印体(SB)对向配置。基于拍摄承载体(BL)的外缘的至少一部分而得的结果，使第一保持设备(61)移动而将承载体(BL)定位在第一目标位置。基于拍摄被转印体(SB)的外缘中的至少一部分而得的结果，使第二保持设备(41)移动而将被转印体(SB)定位在规定的第二目标位置。拍摄形成在承载体(BL)的第一对准标记及形成在被转印体的第二对准标记，基于其拍摄结果使第一保持设备(61)及第二保持设备(41)中的至少一者移动，对承载体(BL)与被转印体(SB)进行位置对准。

主权项

一种图案形成装置，其特征在于，包括：第一保持设备，保持由图案承载面承载图案的承载体；第二保持设备，以使被转印面与所述承载体的所述图案承载面对向的方式，保持包括被转印所述图案的所述被转印面的被转印体；推顶设备，推顶由所述第一保持设备保持的所述承载体；第一移动设备，使所述第一保持设备与所述图案承载面平行地移动；第二移动设备，使所述第二保持设备与所述被转印面平行地移动；预对准设备，拍摄由所述第一保持设备保持的所述承载体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述第一移动设备作动而将所述承载体定位在规定的第一目标位置，并且拍摄由所述第二保持设备保持的所述被转印体的外缘的至少一部分，基于其拍摄结果使所述第二移动设备作动而将所述被转印体定位在规定的第二目标位置；以及精密对准设备，拍摄形成在定位于所述第一目标位置的所述承载体的第一对准标记及形成在定位于所述第二目标位置的所述被转印体的第二对准标记，基于其拍摄结果使所述第一保持设备及所述第二保持设备中的至少一者作动，对所述承载体与所述被转印体进行位置对准，所述第一保持设备是保持所述承载体的周缘部，以使所述图案承载面朝上的水平姿势且以使比所述周缘部更靠内侧的中央部的下方敞开的状态保持所述承载体，且所述推顶设备是通过从下方推顶所述承载体的所述中央部，而使承载于所述承载体的所述图案抵接于所述被转印体的所述被转印面。