[发明专利]具有同步数据采集机制的光学测量系统

摘要

本发明提供了一种光学测量系统，包括探测单元，用于采集反射自样品表面的光谱数据；运动单元，用于调整入射至探测单元的光谱数据，并记录与光谱数据相对应的第一位置信息；以及工控单元，用于接收来自探测单元光谱数据以及来自运动单元记录的第一位置信息，并用于控制运动单元对入射至探测单元的光谱数据进行调整；其中，探测单元通过硬件触发方式以触发运动单元记录第一位置信息，运动单元通过硬件触发方式以触发探测单元开始或停止采集光谱数据。本发明通过硬件触发的探测器、运动控制卡之间的相互作用，实现了光谱数据与光轴位置同步采集，而不受验偏电机的不稳定转速的影响。

主权项

一种光学测量系统，包括：探测单元，用于采集反射自样品表面的光谱数据；运动单元，用于调整入射至所述探测单元的所述光谱数据，并记录与所述光谱数据相对应的第一位置信息，其中，所述运动单元包括验偏器，所述第一位置信息包括所述探测单元采集所述光谱数据时所述验偏器的光轴位置；以及工控单元，用于接收所述光谱数据和所述第一位置信息，并用于控制所述运动单元对入射至所述探测单元的所述光谱数据进行调整；其中，所述探测单元通过硬件触发方式以触发所述运动单元记录所述第一位置信息，所述运动单元通过硬件触发方式以触发所述探测单元开始或停止采集所述光谱数据。