[发明专利]故障检测系统及故障检测方法有效
申请号: | 201410060813.X | 申请日: | 2014-02-21 |
公开(公告)号: | CN104037103B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 田中雅人 | 申请(专利权)人: | 阿自倍尔株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人: | 肖华 |
地址: | 日本东京都千代田*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的故障检测系统及故障检测方法加强以设备层次中的过程量为对象的FD/FP功能,故障检测系统包括数据取得部(1),将过程量作为成为对象的状态量,取得该状态量的时序数据;代表值存储部(2),将状态量变化率的最高值和状态量变化率达到最高值时的状态量进行组合并作为代表值进行存储;变化率算出部(3),基于所述数据取得部取得的状态量的数据来计算出状态量变化率;以及代表值更新部(4),当由所述变化率算出部计算出的最新的状态量变化率的绝对值大于代表值存储部中所存储的状态量变化率的最高值的绝对值时,将代表值存储部中所存储的代表值更新为由变化率算出部计算出的最新的状态量变化率和数据取得部取得的最新的状态量构成的组。 | ||
搜索关键词: | 故障 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种故障检测系统,其特征在于,包括:数据取得单元,其将设备层次的过程量作为成为对象的状态量,取得该状态量的时序数据;代表值存储单元,其将状态量变化率的最高值和状态量变化率达到最高值时的状态量进行组合并作为代表值进行存储;变化率算出单元,其基于由所述数据取得单元取得的状态量的数据来计算出状态量变化率;代表值更新单元,其当由所述变化率算出单元计算出的最新的状态量变化率的绝对值大于所述代表值存储单元中所存储的状态量变化率的最高值的绝对值时,将所述代表值存储单元中所存储的代表值更新为由所述变化率算出单元计算出的最新的状态量变化率和所述数据取得单元取得的最新的状态量所构成的组;和复位单元,其当从外部接收到复位信号时,将所述代表值存储单元中存储的状态量变化率的最高值复位至最小值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造