[发明专利]圆筒状蒸发源有效
| 申请号： | 201410063566.9 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN104004997B | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | J.维特;S.埃斯塞;J.米勒;G.埃肯斯 | 申请（专利权）人： | 苏舍梅塔普拉斯有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李涛;何逵游 |
| 地址： | 德国贝吉施*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种圆筒状蒸发源（1），所述蒸发源在圆筒外壁（2）处包括待蒸发的靶材（3）以及第一磁场源（401）和第二磁场源（402），所述第一磁场源和所述第二磁场源形成磁体系统（400）的至少一部分并且被布置在用于产生磁场的圆筒状蒸发源（1）的内部中。在这一方面，第一磁场源（401）和第二磁场源（402）被设置在载体系统（500）处，从而使得磁场的形状和/或强度能够根据预先定义的计划被设置在预先定义的空间区域中。根据本发明，所述载体系统（500）被构造用于设置所述载体系统（500）的所述磁场的形状和/或强度，从而使得所述第一磁场源（401）被布置在第一载体臂（501）处且能够相对于第一枢转轴线（5011）枢转预先定义的第一枢转角度（α1）。 | ||
| 搜索关键词： | 圆筒状 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒状蒸发源，所述蒸发源在圆筒外壁（2）处包括待蒸发的靶材（3）以及第一磁场源（401）和第二磁场源（402），所述第一磁场源和所述第二磁场源形成磁体系统（400）的至少一部分并且被布置在用于产生磁场的圆筒状蒸发源（1）的内部中，其中，所述第一磁场源（401）和所述第二磁场源（402）被设置在载体系统（500）处，从而使得所述磁场的形状和/或强度能够根据预先定义的计划被设置在预先定义的空间区域中，其特征在于，所述载体系统（500）被构造用于设置所述磁场的形状和/或强度，从而使得所述第一磁场源（401）被布置在第一载体臂（501）处，并且所述第一载体臂（501）能够相对于在所述第一载体臂（501）的一端处的第一枢转轴线（5011）枢转预先定义的第一枢转角度（α1）其中，所述磁体系统（400）另外包括第一磁性元件（403），其中，所述磁体系统（400）另外包括第二磁性元件（404），以及其中，所述第一磁场源（401）和/或所述第二磁场源（402）和/或所述第一磁性元件（403）和/或所述第二磁性元件（404）和/或所述载体系统（500）能够在预先定义的空间方向上线性移动。
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