[发明专利]铝前体、使用其形成薄膜的方法和形成电容器的方法有效
| 申请号： | 201410063617.8 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN104004007B | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 尹相喆;樱井淳;畑濑雅子;曹仑廷;姜知那;山田直树;崔晶植 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社;株式会社ADEKA |
| 主分类号： | C07F5/06 | 分类号： | C07F5/06;C23C16/20;H01G4/08;H01G4/10 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 金拟粲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 铝化合物由下式1表示。在式1中，X为由以下式2或式3表示的官能团。 | ||
| 搜索关键词： | 铝前体 使用 形成 薄膜 方法 电容器 | ||
【主权项】：
由下式1表示的铝化合物，其中X为以下式2或式3表示的官能团：
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