[发明专利]一种大外径变形镜主镜的加工方法

摘要

本发明公开了一种大外径变形镜主镜的加工方法，属于变形镜的加工技术领域。本发明的大外径变形镜主镜的加工方法，包括选材—第一面加工——采用蜂蜡粘接上盘、环型精磨的方法精磨第二面——磁性压盘上盘、环型抛光的方式抛光第二面——将零件浸进抛光液进行精抛光的加工——超声波振动下盘。本发明的大外径变形镜主镜的加工方法，主要解决外径大、厚度薄的变形反射镜的主镜片加工难度大的问题，可适用于大尺寸相对厚度薄的变形镜主镜的加工，甚至可适用于尺寸与厚度比20以上、200以下的高精度平面反射镜或者光学窗口的加工。

主权项

一种大外径变形镜主镜的加工方法，其特征在于：它包括以下步骤：步骤一、将零膨胀光学玻璃ULE材料成型加工为外径大于200mm的方形或者圆形零件，要求其厚度大于10mm，其中零件的外径与厚度之比小于15；将该零件的其中一面设为第一面，另一面为第二面；步骤二、对零件的第一面进行精磨及抛光，要求第一面完工后零件的外径与厚度之比为18～20，同时在第一面上外径为200mm的范围内，其面形为低1个光圈；再对零件的四周进行倒角；步骤三、对整个零件采用全封蜡方式上盘，将零件粘接在玻璃垫板上，对零件的第二面进行环型精磨，使加工后的零件厚度比主镜的要求厚度要厚0.15mm～0.25mm；再用丙酮或者溶蜡剂泡掉零件表面的封蜡，并清洗干净；对第二面进行细沙研磨，确保第二面的面形为低圈；步骤四、在第一面上涂一层光学保护漆，在磁性压盘内垫一层湿润的棉布，将零件放入磁性压盘的凹槽内，确保零件的第一面与棉布之间相互吸引；将压盘上的零件对准加工设备中的抛光磨具，并对第二面进行抛光； 步骤五、在抛光之前，对加有氧化铈的抛光液采用超声波清洗机进行超声波振动约20分钟，抛光液和环境温度均控制在22～25度；对第二面进行抛光的过程中，需采用大外径干涉仪对面形进行在线控制；当抛光的面形达到低2个光圈后，再将零件换至专用抛光机上进行浸夜抛光，使抛光液完全淹没整个零件，并对第二面进行修正，确保第二面的面形为低1个圈；步骤六、将磁性压盘连带零件放入超声波清洗槽内，要求零件向上，且在零件周围加设有保护措施；振动约10～20分钟，使零件与磁性压盘自动分开。