[发明专利]一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头有效
| 申请号： | 201410067366.0 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103860143A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王元光;谢会开;陈巧;周寅;周正伟 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | A61B5/00 | 分类号： | A61B5/00;A61B1/00;G01N21/88;G01N21/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 邵骅 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，包括外壳及组装在其内的主体基座；所述主体基座上侧的凹槽内设置有透镜组件，其斜面的凹槽内设置有第一MEMS微镜；所述主体基座下侧的凹槽内设有第二MEMS微镜；光束通过光纤经由透镜组件射入到第一MEMS微镜上，再通过第一MEMS微镜反射到第二MEMS微镜上；外部电路通过控制所述第二MEMS微镜上的电压通断，进而控制所述第二MEMS微镜处于空间内翘曲或空间内平展状态，以实现探头在前向扫描、侧向扫描和侧前向扫描之间任意切换。本发明探头仅采用一个透镜组件，使用双MEMS微镜便可实现多种工作模式的切换，使用更加灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切换 工作 模式 mems 光学 扫描 探头 | ||
【主权项】：
一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，包括外壳及组装在其内的主体基座；所述主体基座上侧的凹槽内设置有透镜组件，其斜面的凹槽内设置有第一MEMS微镜；其特征在于，所述主体基座下侧的凹槽内设有第二MEMS微镜；光束通过光纤经由透镜组件射入到第一MEMS微镜上，再通过第一MEMS微镜反射到第二MEMS微镜上；外部电路通过控制所述第二MEMS微镜上的电压通断，进而控制所述第二MEMS微镜处于光路的不同位置实现光路切换，以实现探头在前向扫描、侧扫扫描和侧前向扫描之间任意切换，增大了探头的扫描面积。
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