[发明专利]筒长无限的显微物镜光学系统有效
| 申请号： | 201410067677.7 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103837974A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民;王向朝;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B21/02 | 分类号： | G02B21/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种筒长无限的显微物镜光学系统，是一种折反射式光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透镜是双凹负透镜；第六透镜是双凸正透镜；第七透镜具有正光焦度，并弯向物面；孔径光阑位于第三透镜的前表面位置，物面位于所述筒长无限的显微物镜的后焦面位置。本发明采用折反射式结构，实现最大数值孔径为0.93，最短焦距为2.15mm，而且成像质量接近完善成像；透镜数量少，结构紧凑，体积小，重量轻；完全满足用于深紫外检测显微镜的技术要求。 | ||
| 搜索关键词： | 无限 显微 物镜 光学系统 | ||
【主权项】：
一种筒长无限的显微物镜光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，其特征在于，所述的第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透镜是双凹负透镜；第六透镜是双凸正透镜；第七透镜具有正光焦度，并弯向物面；孔径光阑位于第三透镜的前表面位置，物面位于所述筒长无限的显微物镜的后焦面位置。
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