[发明专利]一种制备ITO靶材的方法

摘要

一种制备ITO靶材的方法，涉及材料技术领域，本发明通过抽滤成型设备将配制好的ITO浆料中的一部分水分从微孔模具的微孔中排出，使ITO粉末颗粒在抽滤成型设备型腔中不断堆积而成型出高密度、高强度的均匀大规格ITO坯体，再将该坯体在氧气氛炉中进行烧结，可得到大规格、高密度的ITO靶材，同时省去了干压成型方法中喷雾造粒、大吨位压机等设备和工序，可以较低成本获得大规格高端ITO靶材，本发明制备出的ITO靶材具有规格大、密度高、纯度高以及成本低等特点。

主权项

一种制备ITO靶材的方法，其特征是：所述制备方法包括如下步骤：第一步、首先取纯度99.9%～100%，平均粒径范围为0.02～1μm的ITO粉或氧化铟与氧化锡的混合物作为粉体，以去离子水为水溶剂，然后在水溶剂中加入占粉体0.05～1%的有机分散剂形成溶液，进一步用氨水调节溶液pH值至9～11，在上述溶液配制过程中要始终用磁力转子或机械搅拌棒进行搅拌，以使水溶剂中的有机分散剂与氨水混合均匀，然后将粉体与配置好的溶液一同进行球磨，经球磨制备出固含量为80～90%、粘度为18～971mPa•s的ITO浆料（9）；第二步、将第一步获得的ITO浆料（9）放入抽滤成型设备中的微孔模具（11）上，盖上密封盖（6）使抽滤成型设备的上模（7）与密封盖（6）形成封闭的上工作腔，启动真空泵A（2）对上工作腔进行抽真空，将上工作腔抽至真空度为0.5～2Pa并保真空5～10min后通过阀门A（1）破真空，进而实现ITO浆料（9）抽真空除泡，然后启动真空泵B（10）对微孔模具(11)下方的下模（4）进行抽真空，目的是将ITO浆料（9）中的一部分水分从微孔模具（11）上的微孔中排出，此时真空泵B（10）在10～30min内将下模（4）抽至真空度为0.1～100Pa，并保真空1～3h，待ITO浆料（9）形成坯体后立即脱模，得到高密度的均匀ITO靶材坯体；第三步、将上步得到的ITO靶材坯体先经室温干燥3～6天后，坯体再依次经过20～30℃干燥4～7天，80～150℃进一步干燥2～3天，550～900℃脱脂10～30h，1500～1650℃氧气氛烧结后即可得到所需的ITO靶材。