[发明专利]一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法有效
| 申请号： | 201410070238.1 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104880911B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 廖飞红;朱岳彬;贾海立;胡书平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/404 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种光刻机工件台，包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，其特征在于所述微动模块包括多个重力补偿器，多个绝对位置传感器，多个光栅尺传感器以及微动板；所述多个绝对位置传感器用于工件台的垂向位置回零；所述多个光栅尺传感器用于工件台的垂向伺服控制。本发明提出的一种光刻机工件台及其垂向位置初始化方法，提高了工件台相对整机的垂向零位稳定性，解决了由于垂向回零不准导致的工件台垂向运动精度差的可靠性不足的问题，同时还为光栅尺垂向装调过程带来了便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机工 及其 位置 初始化 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机工件台，包括水平向模块、微动模块、预对准模块和衬底交接模块，其特征在于：所述微动模块包括多个重力补偿器，多个绝对位置传感器，多个光栅尺传感器以及微动板；所述多个绝对位置传感器用于工件台的垂向位置回零；所述多个光栅尺传感器用于工件台的垂向伺服控制；所述多个光栅尺传感器包括垂向光栅尺和Rz光栅尺，垂向光栅尺包括3个光栅尺，用于实现Z，Rx，Ry位置测量；还包括位置传感器反馈控制回路，所述位置传感器反馈控制回路反馈所述绝对位置传感器的测量值，控制所述重力补偿器压力，使所述微动板的位置调整到给定范围内。
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