[发明专利]一种用于调焦测量的光谱重构系统有效
| 申请号： | 201410070291.1 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN104880832B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 陆侃;徐荣伟;王福亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光谱重构系统，包括：多种波段的光源系统，提供多个不同波段的光束；偏振分束系统，对不同波段的光束进行处理，以产生不同波段不同偏振态光束输出；偏振光强可调系统，根据不同工艺条件对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整；合束系统，对经光强调整后的不同波段不同偏振态光束进行合束。该光谱重构系统可以根据不同工艺条件需求对各不同波段不同偏振态光束的光强进行配比，合束系统能够将不同波段不同偏振态的光束的偏振信息保留。将光谱重构系统应用于调焦调平系统可以起到大幅度减小调焦调平系统的测量误差，大幅度增强调焦调平系统的工艺适应性，大幅度提高调焦调平系统的测量精度的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 调焦 测量 光谱 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光谱重构系统，包括：多种波段的光源系统，提供多个不同波段的光束；偏振分束系统，对不同波段的光束进行处理，以产生不同波段不同偏振态光束输出；偏振光强可调系统，根据不同工艺条件对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整；合束系统，对经光强调整后的不同波段不同偏振态光束进行合束；该偏振分束系统包括多个第一偏振分光棱镜，用于分别将多个不同波段光束进行处理，使每一波段光束被分成偏振态不同的P光和S光；该偏振光强可调系统包括多个可变偏振分光镜组，用于对不同波段不同偏振态光束的光强进行调整；对应于每个波段的光束所述偏振光强可调系统由第一可变偏振分光镜组和第二可变偏振分光镜组组成，该波段光束的P光入射至所述第一可变偏振分光镜组，该波段光束的S光入射至第二可变偏振分光镜组，所述第一可变偏振分光镜组和第二可变偏振分光镜组均由各自的半波片和偏振分光棱镜组成，经过所述第一可变偏振分光镜组的偏振分光棱镜后的光分别入射至所述合束系统和所述第二可变偏振分光镜组的偏振分光棱镜。
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