[发明专利]一种磁传感装置及其制备工艺

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置及其制备工艺，所述磁传感装置包括第三方向磁传感部件，所述第三方向磁传感部件包括基底、导磁单元、感应单元。基底表面开有沟槽；导磁单元包括至少两个导磁子单元；导磁单元的部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽，相邻的两个导磁子单元之间设有介质材料；导磁单元用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元设置于所述基底表面上，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场。本发明通过增加Z轴导磁单元的磁性材料层的数量，从而增加Z轴的感应能力，提高磁传感装置的感应能力及灵敏度。

主权项

1.一种磁传感装置，其特征在于，所述磁传感装置包括第三方向磁传感部件，所述第三方向磁传感部件包括：基底，其表面开有沟槽；导磁单元，包括至少两个导磁子单元，即至少包括第一导磁子单元、第二导磁子单元，各导磁子单元沿沟槽的深度方向依次排列，相邻的两个导磁子单元之间设有介质材料；各导磁子单元的部分设置于沟槽内；所述第一导磁子单元的主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面；所述第二导磁子单元的主要部分设置于沟槽内，第二导磁子单元设置于第一导磁子单元的上方，第二导磁子单元与第一导磁子单元之间设有第一介质材料；所述导磁单元用以感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应单元进行测量；感应单元，靠近导磁单元露出沟槽的部分设置，与导磁单元连接或者两者之间设有间隙，用以测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合导磁单元输出的磁信号，能测量被导磁单元引导到第一方向或/和第二方向测量的第三方向磁场；第一方向、第二方向、第三方向两两相互垂直；所述感应单元包括电极层及一个感应子单元，感应子单元靠近最上方的导磁子单元设置；各个导磁子单元感应第三方向的磁信号，并将该磁信号输出到感应子单元进行测量；所述感应子单元测量第一方向或/和第二方向的磁场，结合各导磁子单元输出的磁信号，能配合电极层测量被导磁子单元引导到第一方向或/和第二方向的第三方向磁场。