[发明专利]上位机失效处理方法和装置有效
| 申请号： | 201410072416.4 | 申请日： | 2014-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103809576A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 付运涛;张海轮 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种上位机失效处理方法，用于在半导体工艺期间上位机失效时对各半导体设备进行控制，该上位机失效处理方法由下位机执行，其包括：从所述上位机获取所述半导体工艺所处的工艺阶段；以及当接收上位机失效信号时，根据当前所述半导体工艺所处的工艺阶段对所述各半导体设备的工艺参数进行相应控制。本发明还提供了一种上位机失效处理装置，能够在保证安全的前提下使设备正常完成工艺流程，避免因上位机失效导致产品损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 上位 失效 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种上位机失效处理方法，用于在半导体工艺期间上位机失效时对各半导体设备进行控制，其特征在于，所述上位机失效处理方法由下位机执行，其包括以下步骤：从所述上位机获取所述半导体工艺所处的工艺阶段；以及当接收上位机失效信号时，根据当前所述半导体工艺所处的工艺阶段对所述各半导体设备的工艺参数进行相应控制。
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