[发明专利]低温分子筛吸附泵装置

摘要

本发明属于真空泵技术领域，具体为一种低温吸附泵装置。其结构主要包括机械泵、波纹管、低温分子筛吸附泵，真空管路、电阻/电离复合型真空计和复合型真空计控制器；机械泵通过波纹管同真空管路连接；低温分子筛吸附泵同真空管路连接；所述电阻/电离复合型真空计同真空管路连接，并且同复合型真空计控制器连接。低温分子筛吸附泵包括低温吸附泵腔体和液氮杜瓦。本发明的优点在于制备粉末原料时，低温分子筛吸附泵与前级的机械泵相结合，满足了粉末样品在抽气密封过程中对高真空的需求，并且能在较长的时间内持续性地获得高真空状态；且在对粉末样抽气时损耗比较小，延长了寿命降低应用成本；并能在任意工作坏境下使用，工作极限高，操作方便。

主权项

一种低温分子筛吸附泵装置，其特征在于主要包括机械泵（1）、波纹管（2）、低温分子筛吸附泵（3）、真空管路（4）、电阻/电离复合型真空计（5）和复合型真空计控制器（6）；其中:所述机械泵（1）通过波纹管（2）同真空管路（4）连接；所述低温分子筛吸附泵（3）同真空管路（4）连接；所述电阻/电离复合型真空计（5）同真空管路（4）连接，并且通过配套的电线同复合型真空计控制器（6）连接；所述的低温分子筛吸附泵（3）包括低温吸附泵腔体（9）和液氮杜瓦（10）；所述低温吸附泵腔体（9）主要由一个圆柱桶形的真空腔（11）和一个圆柱形的多孔网（12）组成；所述多孔网（12）嵌套在真空腔（11）内，多孔网（12）网外与真空腔（11）内壁之间区域放置分子筛；所述真空腔（11）的主体浸泡在液氮杜瓦（10）的液氮中，真空腔（11）的开口端伸出液氮杜瓦（10）外；低温分子筛吸附泵（3）通过真空腔（11）的开口端同真空管路（4）连接；所述的真空管路（4）上还设置有一个用于连接待抽样品的样品管路接口（18），一个用于控制样品管路接口（18）开合的第一直通阀门（14），一个控制低温分子筛吸附泵（3）与真空管路（4）连通/断开的开关角阀（15），以及一个用于控制波纹管（2）与真空管路（4）连通/断开的第二直通阀门（17）。