[发明专利]基于平面镜反射的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转检测系统及检测方法

摘要

基于平面镜反射的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述系统包括：一用于发射水平激光束的激光器、一平面镜、一光电位置敏感探测器、一数据采集卡和一计算机。本发明利用音圈电机带动平面镜进行相应的往复平动或利用步进电机带动平面镜进行往复式摆动使激光器发射出来的激光束进行往复平动或转动，用该激光束对微悬臂梁阵列进行扫描；然后用光电位置敏感探测器时序接收微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的偏转信号，从而监测各微悬臂梁上发生的实时反应信息。本发明的阵列扫描光路结构简单，容易实现；使用一根激光器对所有微悬臂梁进行扫描，保证了各根微悬臂梁上照射光斑的一致性；提升微悬臂梁阵列传感器系统性能。

主权项

基于平面镜反射的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转检测系统，其特征是所述系统包括：一用于发射水平激光束的激光器；所述激光器固设在可移动位移平台上；一平面镜，所述平面镜倾斜设在水平激光束的前方，将水平激光束反射成照向微悬臂梁阵列的反射激光束，所述反射激光束用于待测微悬臂梁阵列的微悬臂梁自由端扫描；所述平面镜固定在音圈电机上，利用音圈电机使平面镜做水平往复运动；一光电位置敏感探测器，所述光电位置敏感探测器用于接收经所述微悬臂梁自由端反射后所形成的激光束，并产生一个输出信号；一数据采集卡，所述数据采集卡用于采集光电位置敏感探测器的输出信号；一计算机，所述计算机用于处理数据采集卡所采集的数据。