[发明专利]一种石英晶体晶片的测试机

摘要

本发明涉及到晶片领域，是一种石英晶体晶片的测试机。其特征是X轴水平轴安装平台装在Y轴左则导向轨道和Y轴右则导向轨道上，X轴左则导向轨道、X轴右则导向轨道、X轴伺复电机丝杆机构装在X轴水平轴安装平台上；Y轴伺复电机丝杆机构和Z轴竖直支撑台装在平台上，Z轴右侧导向轨道、Z轴左侧导向轨道装在Z轴竖直支撑台上。由于采用了本技术方案，机构简单可靠，对晶片上音叉单元测试点实现精确定位，可靠的完成晶片电气性能的测试，并进行统计分析，电脑显示画面上用不同颜色区分测试结果，形象直观，便于质量分析。

主权项

一种石英晶体晶片的测试机，其特征是X轴水平轴安装平台(1)装在Y轴左则导向轨道(2)和Y轴右则导向轨道(4)上，X轴左则导向轨道(6)、X轴右则导向轨道(7)、X轴伺复电机丝杆机构(8)装在X轴水平轴安装平台(1)上；Y轴伺复电机丝杆机构(3)和Z轴竖直支撑台(9)装在平台上，Z轴右侧导向轨道(10)、Z轴左侧导向轨道(11)装在Z轴竖直支撑台(9)上；右则测试探针位置调整机构(13)、左则测试探针位置调整机构(14)、左则测试探针(15)、右则测试探针(16)、工业摄像机(17)装在Z轴伺复电机丝杆机构(12)上。