[发明专利]可推定激光气体容器的密闭性的激光装置

摘要

本发明的激光装置具备：压力调整部，其根据激光气体容器内的激光气压的监测值，调整激光气体容器内的激光气压；压力控制部，其控制压力调整部，使得在激光振荡器的启动前，激光气体容器内的激光气压成为比大气压低的第一气压，在激光振荡器的启动后，并且在激光向外部照射之前的准备阶段中，激光气体容器内的激光气压成为能够振荡激光的第二气压；激光控制部，其控制激光振荡器，使得在准备阶段中，激光振荡器执行依照预先确定的振荡条件输出激光的初始动作；激光检测部，其检测通过初始动作输出的激光或与该激光具有相关关系的物理量；密闭推定部，其根据通过激光检测部检测出的检测值来推定激光气体容器的密闭性的程度。

主权项

一种激光装置，其特征在于，具备：激光气体容器（1），其形成激光气体所循环的气体流路（1a）；激光振荡器（2），其将在上述气体流路中流动的激光气体作为激励介质而振荡激光；气压检测部（33），其检测上述激光气体容器内的激光气压；压力调整部（13，14），其根据上述气压检测部的监测值来调整上述激光气体容器内的激光气压；压力控制部（51），其控制上述压力调整部，使得在上述激光振荡器的启动前，上述激光气体容器内的激光气压成为比大气压低的第一气压（G0），在上述激光振荡器的启动后，并且在激光向外部照射之前的准备阶段中，上述激光气体容器内的激光气压成为能够振荡激光的第二气压（G1）；激光控制部（52），其控制上述激光振荡器，使得在上述准备阶段中，上述激光振荡器执行依照预先确定的振荡条件输出激光的初始动作；激光检测部（26），其检测通过上述激光振荡器的上述初始动作而输出的激光或与该激光具有相关关系的物理量；密闭推定部（5），其根据通过上述激光检测部检测出的检测值，推定上述激光气体容器的密闭性的程度。