[发明专利]探针的清洁方法及探针清洁装置有效
| 申请号： | 201410078912.0 | 申请日： | 2014-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103878150A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王善屹 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种探针清洁装置以及探针的清洁方法，其中，探针的清洁方法包括：提供待清洁的探针；采用清针片对所述待清洁的探针进行第一清洁处理；采用毛刷对所述待清洁的探针进行第二清洁处理；对所述待清洁的探针进行第三清洁处理，所述第三清洁处理为对所述待清洁的探针进行抽气处理；所述第一清洁处理、第二清洁处理和第三清洁处理为同时进行。本发明提高了探针清洁的效率，增强去除杂质的能力，缩短了探针清洁的时间，从而改善了晶圆测试结果的准确性和可靠性，缩短晶圆测试的时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 清洁 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种探针清洁装置，其特征在于，包括：腔体；所述腔体的底部设有清针片；所述清针片以外的腔体侧壁设有毛刷；所述清针片以外的腔体侧壁设有一个或多个吸孔，所述吸孔通过管道与吸气阀连接，并连接至集尘装置中。
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