[发明专利]一种具有加载装置的多级抛光盘

摘要

本发明涉及一种具有加载装置的多级抛光盘，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。它包括研磨抛光盘、滑台、工件安装轴、转动装置和工件安装头，滑台装在研磨抛光盘的上方并可以沿着水平方向移动，工件安装轴装在滑台上；研磨抛光盘上设有多层环形的挡板，所有挡板均与研磨抛光盘同轴心，将研磨抛光盘从内到外分成多个环形区域，不同区域的磨料粒度不同。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过控制每一圈的磨料粒度，可以对工件分别多种不同程度精度的研磨加工；研磨抛光盘转动的时候工件也会跟着自转运动，二者的共同作用下可实现待加工表面的加工纹理无序化从而提高了加工效率与质量。

主权项

一种具有加载装置的多级抛光盘，其特征在于：包括研磨抛光盘、滑台、工件安装轴、转动装置和工件安装头，滑台装在研磨抛光盘的上方并可以沿着水平方向移动，滑台上设有安装孔，工件安装轴穿过安装孔，研磨抛光盘的底部连接转动装置；所述研磨抛光盘上设有多层环形的挡板，所述所有挡板均与研磨抛光盘同轴心，所述挡板固定在研磨抛光盘上，所述挡板由内到外半径逐渐增加，所述挡板将研磨抛光盘从内到外分成多个环形区域，所述磨料涂覆于环形区域内，所述环形区域内磨料的粒度由外至内逐渐增加；所述工件安装头连接摩擦块，摩擦块通过轴承连接工件安装轴的底部；所述工件安装轴的上端通过联轴器连接双向受力气缸，所述双向受力气缸固定在滑台上，双向气缸作用是通过联轴器控制工件安装轴沿着竖直方向的运动，从而控制工件安装头的上下移动并提供研磨抛光过程中需要的下压力；所述滑台连接水平放置的滚珠丝杠和直线导轨，所述滚珠丝杠和直线导轨平行放置，滚珠丝杠的一端连接驱动装置，滑台在滚珠丝杠和直线导轨的作用下水平移动。