[发明专利]一种平面抛光装置

摘要

本发明涉及一种平面抛光装置，适用于光学元件、非晶薄膜衬底等工件表面的研磨与抛光加工。包括砂轮、滑台和工件移动机构，砂轮为方形，砂轮的盘面粒度沿着长边方向从左至又依次递增；砂轮装在滑台上，滑台下方装有滚轴丝杠和直线导轨，滚轴丝杠和直线导轨水平平行放置，滚轴丝杠的一端装有电机，滑台在滚轴丝杠和直线导轨的作用下水平移动；工件移动机构包括龙门架，龙门架固定在砂轮上方，龙门架上装有凸轮连杆机构。本发明结构简单紧凑，成本较低，自动化程度高，通过方形研磨盘的磨料粒度梯度化设计，可以对工件分别进行从粗磨到精抛的不同程度的加工。

主权项

一种平面抛光装置，其特征在于：包括砂轮、滑台和工件移动机构，所述砂轮为方形，所述砂轮的盘面粒度沿着长边方向从左至又依次递增；所述砂轮装在滑台上，所述滑台下方装有滚轴丝杠和直线导轨，所述滚轴丝杠和直线导轨水平平行放置，所述滚轴丝杠的一端装有电机，所述滑台在滚轴丝杠和直线导轨的作用下水平移动；所述工件移动机构包括龙门架，所述龙门架固定在砂轮上方，所述龙门架上装有凸轮连杆机构；所述凸轮连杆机构包括凸轮，第一连杆、第二连杆、第三连杆，所述凸轮与第一连杆的连接方式为活动铰接，所述第一连杆与第二连杆活动铰接，所述第二连杆与第三连杆垂直固接，所述第二连杆与第三连杆的连接位置与安装在龙门架上的伸出平台通过固定铰链连接；所述第三连杆的运动端连接工件安装轴，所述工件安装轴的底部连接真空吸盘。