[发明专利]电子注轴向速度测量系统有效

专利信息
申请号: 201410080679.X 申请日: 2014-03-06
公开(公告)号: CN103794449A 公开(公告)日: 2014-05-14
发明(设计)人: 阮存军;李庆生;李崇山;姜波;李彦峰 申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
主分类号: H01J37/244 分类号: H01J37/244
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 曹玲柱
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供了一种电子注轴向速度测量系统。该电子注轴向速度测量系统包括:容性探针装置、收集极腔体结构、电压积分及传输电路、电压测量装置和电流测量装置。容性探针装置包括:主腔体结构和电子注感应环。收集极腔体结构,与主腔体结构相连通,呈中间大、两头小的纺锤形。电压积分及传输电路,其前端电性连接至电子注感应环,用于将电子注穿过容性探针时产生的感应电荷转换为电压信号。电压测量装置,电性连接于电压积分及传输电路的后端。电流测量装置,电性连接至收集极腔体结构。本发明可以减小测量过程中杂散电子的影响,提高电子注轴向速度的测量精度。
搜索关键词: 电子 轴向 速度 测量 系统
【主权项】:
一种电子注轴向速度测量系统,其特征在于,包括:容性探针装置(100),包括:主腔体结构(110);以及电子注感应环(130),由金属导电材料制备,隔着绝缘陶瓷筒(120)固定于主腔体结构(110)的内侧;收集极腔体结构(600),与所述主腔体结构(110)相连通,呈中间大、两头小的纺锤形;电压积分及传输电路(800),其前端电性连接至所述电子注感应环(130),用于将电子注穿过容性探针时产生的感应电荷转换为电压信号;电压测量装置,电性连接于所述电压积分及传输电路(800)的后端;以及电流测量装置,电性连接至所述收集极腔体结构(600);其中,电子注由所述主腔体结构(110)的入口进入,经由所述主腔体结构(110)进入所述收集极腔体结构(600)内,由该收集极腔体(600)进行吸收,由电压测量装置和电流测量装置分别得到电子注感应电压V(t)及电子注电流I(t)。
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