[发明专利]一种双槽沟槽蚀刻机有效

专利信息
申请号: 201410082522.0 申请日: 2014-03-08
公开(公告)号: CN103834948A 公开(公告)日: 2014-06-04
发明(设计)人: 马玉水 申请(专利权)人: 山东高唐杰盛半导体科技有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 252800 山东省聊*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种双槽沟槽蚀刻机,包括机架,机架上设有酸洗槽、水洗槽,所述酸洗槽与水洗槽之间设有输送装置,所述输送装置上活动连接有旋转篮筐,所述输送装置可把旋转篮筐送入酸洗槽进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐送入水洗槽进行清洗,所述旋转篮筐可沿其中轴线转动;所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。所述动力输出装置通过电路与PLC可编程逻辑控制器相连,通过PLC可编程逻辑控制器相连控制动力输出装置的工作。本装置能解决蚀刻面不均匀,大面积腐蚀速度慢,清洗不彻底的问题。
搜索关键词: 一种 沟槽 蚀刻
【主权项】:
一种双槽沟槽蚀刻机,包括机架(8),机架(8)上设有酸洗槽(3)、水洗槽(4),其特征在于:所述酸洗槽(3)与水洗槽(4)之间设有输送装置,所述输送装置上活动连接有旋转篮筐(2),所述输送装置可把旋转篮筐(2)送入酸洗槽(3)进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐(2)送入水洗槽(4)进行清洗,所述旋转篮筐(2)可沿其中轴线转动;所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。
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