[发明专利]一种双槽沟槽蚀刻机有效
申请号: | 201410082522.0 | 申请日: | 2014-03-08 |
公开(公告)号: | CN103834948A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 马玉水 | 申请(专利权)人: | 山东高唐杰盛半导体科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 252800 山东省聊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种双槽沟槽蚀刻机,包括机架,机架上设有酸洗槽、水洗槽,所述酸洗槽与水洗槽之间设有输送装置,所述输送装置上活动连接有旋转篮筐,所述输送装置可把旋转篮筐送入酸洗槽进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐送入水洗槽进行清洗,所述旋转篮筐可沿其中轴线转动;所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。所述动力输出装置通过电路与PLC可编程逻辑控制器相连,通过PLC可编程逻辑控制器相连控制动力输出装置的工作。本装置能解决蚀刻面不均匀,大面积腐蚀速度慢,清洗不彻底的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 沟槽 蚀刻 | ||
【主权项】:
一种双槽沟槽蚀刻机,包括机架(8),机架(8)上设有酸洗槽(3)、水洗槽(4),其特征在于:所述酸洗槽(3)与水洗槽(4)之间设有输送装置,所述输送装置上活动连接有旋转篮筐(2),所述输送装置可把旋转篮筐(2)送入酸洗槽(3)进行蚀刻、所述输送装置可把旋转篮筐(2)送入水洗槽(4)进行清洗,所述旋转篮筐(2)可沿其中轴线转动;所述输送装置通过传动装置与动力输出装置相连。
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