[发明专利]形状测量设备有效
申请号: | 201410084250.8 | 申请日: | 2014-03-07 |
公开(公告)号: | CN104034276B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 山县正意;根本贤太郎;森内荣介;岩本正 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种形状测量设备,包括:照射部,用于利用线状的线激光来照射工件,所述照射部包括:光源,用于生成激光;第一光学构件,用于使来自所述光源的激光线状地散开,并且生成所述线激光;以及第二光学构件,其设置在所述光源和所述第一光学构件之间,用于调整所述工件上的线激光的照射面积;第一传感器,用于接收所述工件所反射的线激光,并且拍摄所述工件的图像;透镜,用于在所述第一传感器的摄像面上形成所述工件所反射的线激光的图像;以及控制部,用于通过所述第二光学构件来对所述工件上的线激光的照射面积的调整进行控制。 | ||
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【主权项】:
1.一种形状测量设备,包括:照射部,用于利用线状的线激光来照射工件,所述照射部包括:光源,用于生成激光;第一光学构件,用于使来自所述光源的激光线状地散开,并且生成线激光;以及第二光学构件,其设置在所述光源和所述第一光学构件之间,并且用于调整所述工件上的线激光的照射面积;第一传感器,用于接收所述工件所反射的线激光,并且拍摄所述工件的图像;透镜,用于在所述第一传感器的摄像面上形成所述工件所反射的线激光的图像;以及控制部,用于通过控制所述第二光学构件的焦距来控制对所述工件上的线激光的照射面积的调整,以使得从所述摄像面延长的第一面、从所述透镜的主平面延长的第二面、以及从线激光的照射面延长的第三面相交在一个点处,其中,所述第二光学构件是焦距能够调整的透镜,其中,所述控制部基于所述线激光的照射位置的平均值来调整所述焦距。
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