[发明专利]探针卡、探针结构及其制造方法

摘要

本发明提出一探针结构，其包含：一金属探针、一软性绝缘管及一金属层。金属探针具有相对设置的一第一端部及一第二端部，而第一端部具有一尖端；软性绝缘管具有一贯穿孔，金属探针部分地插置于贯穿孔中，而金属探针的尖端伸出于贯穿孔之外；金属层涂布于软性绝缘管的一外缘面上，且与金属探针相电隔离，并具有一不大于十微米的厚度。借此，探针结构可同时具有良好的弹性及信号完整性。本发明另提出一探针卡，其包含多个上述的探针结构。本发明又提出一探针结构的制造方法，用以制造上述的探针结构。

主权项

一种探针结构，其特征在于，包含：金属探针，具有相对设置的第一端部及第二端部，而该第一端部具有尖端；软性绝缘管，具有贯穿孔，该金属探针部分地插置于该贯穿孔中，而该金属探针的该尖端伸出于该贯穿孔之外；以及金属层，涂布于该软性绝缘管的外缘面上，且与该金属探针相互电隔离，该金属层的厚度不大于十微米。