[发明专利]除去多晶硅生产尾气中卤化氢的方法

摘要

本发明公开了一种从多晶硅生产尾气中除去卤化氢的方法，其步骤包括：在温度30‑200℃、压力0～1.0Mpa的反应体系中，利用复合含氮高分子树脂作为催化剂,使多晶硅生产尾气中的含氢卤硅烷与卤化氢发生反应,以使其转变为相应的含氢卤硅烷。本发明采用的复合含氮高分子树脂催化剂具有捕捉含氢卤硅烷分子并活化金属的能力，使金属在上述反应体系具有很高的活性和选择性。从反应体系排出的反应产物中的卤化氢含量能够降至5ppm以下，能够简化多晶硅生产尾气处理流程，降低原辅材料消耗，处理过程环保，降低设备装置的投资运行费用。

主权项

1.一种除去多晶硅生产尾气中卤化氢的方法，其特征在于包括在温度30‑200℃、压力0～1.0MPa反应器中，在金属与含氮高分子树脂复合形成的催化剂体系存在条件下，以氢气为载气气流，通入多晶硅生产尾气，利用多晶硅生产尾气中的含氢卤硅烷气体与卤化氢发生反应，以使其转变为相应的卤硅烷并除去卤化氢的步骤；所述的含氮高分子树脂选自聚丙烯腈树脂、聚酰胺树脂或聚乙烯基吡啶树脂中的一种或多种；所述的金属选自铜、锌、锡、锑、铁、铝、金、银、钯、铑中的一种或多种。