[发明专利]基于栅格分束器的空间调制傅里叶变换红外光谱仪有效
| 申请号： | 201410086497.3 | 申请日： | 2014-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN104006881B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 梁静秋;梁中翥;王维彪;吕金光;田超;秦余欣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于栅格分束器的空间调制傅里叶变换红外光谱仪，涉及光谱分析仪器领域，解决现有光谱仪结构内部存在着可动部件，导致其体积、重量较大的问题，包括准直系统、样品池、干涉系统、缩束系统和探测器，干涉系统包括多级小阶梯微反射镜、栅格型分束器和多级大阶梯微反射镜；红外光源发出的光经准直系统准直成红外平行光，平行光经过样品池样品吸收后经栅格型分束器分成相干的两束光；两束光分别入射到多级大阶梯微反射镜和多级小阶梯微反射镜上，并经多级小阶梯微反射镜反射到栅格型分束器；经栅格型分束器反射后的光经缩束系统后，在红外面阵探测器上获得干涉条纹；对干涉条纹做傅里叶变换就可以获得待测物的光谱信息。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 栅格 分束器 空间 调制 傅里叶变换 红外 光谱仪 | ||
【主权项】：
基于栅格分束器的空间调制傅里叶变换红外光谱仪，包括准直系统(2)、样品池(3)、干涉系统(4)、缩束系统(5)和焦平面探测器(6)，其特征是，所述干涉系统(4)包括多级小阶梯微反射镜(8)、栅格型分束器(7)和多级大阶梯微反射镜(9)；红外光源(1)发出的光经准直系统(2)准直成红外平行光，所述红外平行光经过样品池(3)样品吸收后经栅格型分束器(7)分成相干的两束光；一束光入射到多级大阶梯微反射镜(9)上，并经多级大阶梯微反射镜(9)反射到栅格型分束器(7)，另一束光入射到多级小阶梯微反射镜(8)上，并经多级小阶梯微反射镜(8)反射到栅格型分束器(7)；所述经栅格型分束器(7)反射后的光经缩束系统(5)后，在焦平面探测器(6)上获得干涉条纹；对干涉条纹做傅里叶变换就可以获得待测物的光谱信息；设定多级大阶梯微反射镜(9)距离栅格型分束器中心最近的面到栅格型分束器(7)中心的距离为l1，多级小阶梯微反射镜(8)距离栅格型分束器(7)中心最近的面到栅格型分束器中心的距离l2，使l1＝l2；所述准直系统(2)和缩束系统(5)由透射式球面镜组成；所述栅格型分束器(7)采用MOEMS技术，将基膜支撑在具有网格结构的栅格支撑体上，然后将红外分光膜镀在基膜上，所述栅格型分束器利用栅格结构对分光膜系进行支撑。
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