[发明专利]含氧气体制备装置

摘要

当向气体流路（F1）导入载气（G1）时，控制部（6）将氧气生成部（3）连接到电压仪（4），从而使氧气生成部（3）作为氧传感器发挥作用。由此，氧气生成部（3）的单元电动势被监视，由电压仪（4）取得单元电动势的监视完成时的监视电压值。然后，根据由监视电压值计算出的载气氧浓度与设定氧气浓度之差来设定泵浦电流。另外，控制部（6）将氧气生成部（3）的连接对象从电压仪（4）切换到恒流电源（5），从而使氧气生成部（3）作为氧气泵发挥作用。然后，通过泵浦电流而由氧气生成部（3）生成的氧气被混合到载气（G1），从而制备被控制为设定氧气浓度的含氧气体（G2）。

主权项

一种含氧气体制备装置，制备在载气中含有预定浓度的氧气的含氧气体，其特征在于，所述含氧气体制备装置具备：所述载气流动的气体流路；被设置于所述气体流路、生成氧气的氧气生成部；相对于所述氧气生成部可切换地连接的电压仪和恒流电源；以及对所述氧气生成部进行控制的控制部，当向所述气体流路导入所述载气时，所述控制部将所述氧气生成部连接到所述电压仪，从而使所述氧气生成部作为氧传感器发挥作用，监视所述氧气生成部的单元电动势，在判断所述含氧气体制备装置的电源开关被接通后经过一定时间后的所述单元电动势为一定电压值以上的情况下，判断所述单元电动势不存在异常，之后，在判断所述单元电动势的10分钟的变化量为2mV以下的情况下，判断对所述单元电动势的监视完成，由所述电压仪取得所述单元电动势的监视完成时的监视电压值，在确认对所述含氧气体的设定氧气浓度进行设定后，根据由所述监视电压值计算出的载气氧浓度与设定氧气浓度之差来设定泵浦电流，所述控制部将所述氧气生成部的连接对象从所述电压仪切换到所述恒流电源，从而使所述氧气生成部作为氧气泵发挥作用，将通过所述泵浦电流而由所述氧气生成部生成的氧气混合到所述载气，从而制备被控制为设定氧气浓度的含氧气体。