[发明专利]微机电谐振器有效
| 申请号： | 201410087868.X | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN104052430B | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | T·考茨施;H·弗雷利施;M·福格特;M·施特格曼;T·桑塔;M·布里安 | 申请（专利权）人： | 英飞凌技术德累斯顿有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微机电谐振器。实施例具体涉及能够施加最大可用芯片上电压的MEMS谐振器结构和方法。在实施例中，MEMS谐振器包括在接地电势与谐振器的间隙电极之间的连接。实施例也涉及复杂度较低并且能够生产减小尺寸的MEMS谐振器的制造系统和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)谐振器，包括：第一驱动电极；谐振器结构，具有由第一间隙与所述第一驱动电极间隔开的第一端；接地电极，电耦合至所述谐振器的所述第一端以向所述谐振器的所述第一端提供所述接地电极的电势；以及第二驱动电极，所述第二驱动电极由第二间隙与所述谐振器的第二端间隔开，其中所述接地电极电耦合至所述谐振器的所述第二端以向所述谐振器的所述第二端提供所述接地电极的电势；其中所述接地电极由所述谐振器结构的掺杂区域电耦合至所述谐振器的所述第一端和所述第二端。
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