[发明专利]石墨烯太赫兹波探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯太赫兹波探测器，包括石墨烯场效应晶体管以及能够有效耦合太赫兹波的天线，所述天线与石墨烯场效应晶体管集成设置，但与石墨烯场效应晶体管的源极和漏极完全独立。本发明是通过顶栅和背栅相结合，对石墨烯二维电子气的输运性质的有效调控，进而实现太赫兹波的探测。石墨烯场效应晶体管顶栅两侧，集成了独立于源极和漏极，能高效耦合太赫兹波的平面天线，使太赫兹信号以电容形式耦合到栅极，能有效增强石墨烯探测器对太赫兹辐射的响应。该探测器在太赫兹波照射下能产生光电流，或是开路电压，进而实现室温、高速、高效、高灵敏、低噪声探测。

主权项

一种石墨烯太赫兹波探测器，其特征在于：包括石墨烯场效应晶体管以及能够有效耦合太赫兹波的天线，所述天线与石墨烯场效应晶体管集成设置，但与石墨烯场效应晶体管的源极和漏极完全独立。