[发明专利]一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备

摘要

本发明属于单晶硅棒加工设备领域，旨在提供一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备；其中包括底架、切方动力头驱动组件、磨削动力头驱动组件、外罩单元、边皮输送机构、尺寸检测单元、晶向检测单元、切磨工作台和机械手及储料台组件；所述底架中部设有两根平行的主导轨，所述切磨工作台安装于两根主导轨上，并由设置在底架上的主驱动电机通过底架上的主丝杆进行驱动，使其能沿着主导轨移动；本发明的有益效果有：晶棒的切方磨削加工在一台设备中全自动进行，可有效缩短晶棒流转的耗时；切方磨削工作相互独立，同时进行加工，节约加工耗时；切方磨削动力头采用对称布局，同时进行双面加工，成倍地提高加工效率。

主权项

一种全自动单晶硅棒切方磨削复合加工一体设备，包括底架、切方动力头驱动组件、磨削动力头驱动组件、外罩单元，其特征在于，还包括边皮输送机构、尺寸检测单元、晶向检测单元、切磨工作台和机械手及储料台组件；所述底架中部设有两根平行的主导轨，切磨工作台安装在两根主导轨上，并由设置在底架上的主驱动电机通过底架上的主丝杆进行驱动，使其沿着主导轨移动；所述底架两侧分别设有两个延伸平台，切方动力头驱动组件和磨削动力头驱动组件分别安装在对应的底架延伸平台上；所述切方动力头驱动组件包括两个切方动力头，所述磨削动力头驱动组件包括两个粗磨动力头和两个精磨动力头；所述机械手及储料台组件、晶向检测单元、尺寸检测单元、切方动力头均安装于底架两侧面；边皮传输机构安装于底架一端部，外罩单元安装于底架上端。