[发明专利]一种含铪的碳化物涂层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种含铪的碳化物涂层的制备方法，就是将四氯化铪HfCl₄蒸汽通入放置有已加热至工艺温度的待处理工件且置于通有保护气氛的容器内，然后通入反应量的氢气H₂和甲烷CH₄，使四氯化铪HfCl₄蒸汽与氢气H₂和甲烷CH₄气体反应并在该工件上沉积制成；制得的涂层为碳化铪HfC_x，X为0.9-1。本发明不仅获得较高的涂层沉积速率，而且提高了原材料利用率，省去了复杂的真空系统，降低设备及工艺成本，对基材无损伤。同时C/C复合材料制得的涂层与基体结合力强，涂层均匀，涂层覆盖全面，具备良好的长时抗高温氧化浸蚀应用潜力。且涂层总厚度可在5μm～100μm之间任意调控。

主权项

一种含铪碳化物涂层的制备方法，其特征在于：将四氯化铪HfCl₄蒸汽通入放置有已加热至工艺温度的待处理工件且该工件置于通有保护气氛的容器内，然后通入反应量的氢气H₂和甲烷CH₄，使四氯化铪HfCl₄蒸汽与所述氢气H₂和所述甲烷CH₄气体反应并在该工件表面上沉积；制得的涂层为碳化铪HfC_x，X为0.9‑1；所述保护气氛为氩气和氢气混合气，其中氩气体积占混合气体积的25%～75%；所述工艺温度为1100℃～1400℃；所述反应量的氢气H₂和甲烷CH₄的流量比控制在CH₄/H₂=0.05～0.15；所述四氯化铪HfCl₄蒸汽、氢气H₂和甲烷CH₄气体三者化学反应后，在工件表面沉积时间为30min～10h。