[发明专利]MEMS声换能器、MEMS麦克风、MEMS微型扬声器以及扬声器阵列有效
| 申请号： | 201410090491.3 | 申请日： | 2014-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN104053100B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | A·德厄;G·鲁尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/06 | 分类号： | H04R9/06;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种MEMS声换能器，包括具有从中穿过的空腔，以及包括多个在衬底空腔上方进行延伸的传导穿孔背板部分的传导背板单元。布置在相邻的传导穿孔背板部分之间的背板单元上的电介质间隔体，以及由电介质间隔体所支撑并且在传导穿孔背板部分上进行延伸的一个或多个石墨烯薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | mems 声换能器 麦克风 微型 扬声器 阵列 以及 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS声换能器，包括：衬底，具有从中穿过的空腔；传导背板单元，包括在所述衬底的空腔之上延伸的多个传导穿孔背板部分；电介质间隔体，被布置在相邻的传导穿孔背板部分之间的所述背板单元上；以及一个石墨烯薄膜，由所述电介质间隔体所支撑并且在所述传导穿孔背板部分之上延伸，使得所述石墨烯薄膜包括在所述空腔上方延伸的多个可偏转区域，其中：所述传导背板单元包括多个相邻腔室，每个穿孔背板部分包括穿孔背板，并且每个腔室包括一个所述穿孔背板；所述电介质间隔体在所述相邻腔室之间被布置在所述背板单元上；所述石墨烯薄膜在所述背板单元的所述腔室之上延伸；并且所述背板单元的每个所述腔室包括六边形背板，其中所述背板包括六边形外边框和六边形内边框，并且其中所述外边框和所述内边框通过在所述背板的中心处互相连接的多个杆体进行连接，每个杆体从所述中心经由所述内边框的一个角延伸至所述外边框的一个角。
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