[发明专利]等离子体室部件上的抗腐蚀铝涂层有效
| 申请号： | 201410090592.0 | 申请日： | 2014-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN104046981B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 约翰·多尔蒂;石洪;许临;安东尼·阿玛多;罗伯特·G·奥尼尔;彼得·霍兰;西瓦克米·拉马纳坦;金太旺;杜安·乌特卡;约翰·迈克尔·克恩斯;索尼娅·卡斯蒂落 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | C23C24/08 | 分类号： | C23C24/08;C25D11/04;C23C16/513;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 31263 上海胜康律师事务所 | 代理人： | 李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及等离子体室部件上的抗腐蚀铝涂层，公开了半导体材料处理室的部件，所述部件可包括基底和在基底表面上形成的至少一个抗腐蚀涂层。该至少一个抗腐蚀涂层是通过冷喷涂技术形成的高纯度金属涂层。阳极化层可被形成在该高纯度金属涂层上。阳极化层包括该部件的工艺暴露表面。此外，公开了包括所述部件中的一或多个的半导体材料处理装置，所述部件选自由室衬、静电卡盘、聚焦环、室壁、边缘环、等离子体约束环、基底支撑件、挡板、气体分配板、气体分配环、气体喷嘴、加热元件、等离子体屏、输送机构、气体供应系统、升降机构、加载锁、门机构、机械臂和紧固件组成的组。此外还公开了制造所述部件的方法和用所述部件等离子体处理的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 部件 腐蚀 涂层 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理室的铝涂层部件，所述部件包括：/n具有表面的基底；和/n在所述基底的所述表面的至少一部分上的冷喷涂的铝涂层；/n其中所述冷喷涂的铝涂层包含通过颗粒的塑形变形键合到所述表面的铝粉材料颗粒；以及/n其中/n所述冷喷涂的铝涂层包括100ppm或更少的Mn、Si、Ni、Cr、Cu、V、Fe、Mg、Zn、Ti、B、Pb、Zr、Bi、Sn和Ca中的每一者；/n所述冷喷涂的铝涂层具有10微英寸至20微英寸的表面粗糙度Ra；以及/n所述冷喷涂的铝涂层具有至少15密耳的厚度并建立杂质或气体弥散屏障。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410090592.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：轴类零件均布斜角度孔的加工方法
- 下一篇：一种车载物流的接收方法、系统及装置
- 同类专利
- 专利分类
