[发明专利]用于含硅嵌段共聚物的受控组装和改善的有序化的组合物

摘要

本发明提供通过在有机硅嵌段共聚物组合物中包括某些有机添加剂来诱导和增强该组合物中的有序性和纳米结构的组合物和方法，所述有机硅嵌段共聚物组合物包括一个或多个包含氢键受体或氢键给体的部分。所述嵌段共聚物组合物可用作，例如，平版印刷图案化的掩模，所述平版印刷图案化的掩模用在，例如，半导体器件制造的多种阶段期间。

主权项

物质的组合物，包含：(a)嵌段共聚物，其包括：有机硅嵌段；有机嵌段；和一个或多个包含氢键给体或氢键受体的部分；以及(b)有机添加剂，其包括一个或多个包含氢键受体或氢键给体的部分，其中：在所述嵌段共聚物中的所述部分与所述有机添加剂中的所述部分之间形成的氢键产生在组合物中的原子的有序排列。